污水處理廠的除臭方法經理了一個發展過程，從最開始采用的水洗法，逐步發展道效果相對較好的微生物除臭法，然后再衍生出后來的這些處理方法：1、水清洗和化學除臭法；2、活性炭吸附法；3、催化型活性炭法；4、臭氧氧化法；5、燃燒法；6、純天然植物提取液噴灑技術；7、生物除臭法。
采用微波場激發無極燈（其中154nm~185nm波長在系列光譜中使占比例14%，紫外線劑量大于65mw/cm2，光子能量大于880kJ/mol），產生高強紫外線光束照射惡臭氣體，利用分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有立竿見影的清除效果。使惡臭氣體的分子鏈結構發生改變，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在無極燈紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。
在污水處理工藝過程中產生氣味的物質主要由碳、氮和硫元素組成。大多數的氣味物質是有機物，只有少數的氣味物質是無機化合物。據有關資料介紹，從成分來看氨的濃度最高，其次是硫化氫；而從臭氣的強度來看甲硫醇最大，其次是硫化氫 (其臭氣強度達到了強臭的程度 )。硫化氫是產生惡臭氣味的主要物質之一。
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